精度逼近 羲之,中國曝光機卻難量產
2025-08-30 11:37:16 代妈公司
良率不佳
。中國之精導致成本偏高 、曝光「羲之」定位精度可達 0.6 奈米 ,機羲近仍有待觀察。度逼代妈应聘机构
- China Reportedly Develops Lithography Machine With Precision Rivalling ASML’s High-NA EUV,難量 But Limited to Research Applications, Not Mass Production
(首圖來源:中國杭州人民政府)
延伸閱讀:
- 中媒 :中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」
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為了突破 EUV 技術瓶頸 ,中芯國際的 5 奈米量產因此受阻,華為也被限制在 7 奈米製程 ,